Новости

Графитовый токоприемник с покрытием SiC для ASM — это не просто запасная часть внутри эпитаксионной системы. Это критически важный для процесса носитель, который влияет на термическую однородность, чистоту пластин, долговечность покрытия, стабильность камеры и долгосрочную стоимость производства.

Крышка с покрытием CVD TaC — это не просто защитная крышка или компонент с графитовым покрытием. В высокотемпературных полупроводниковых процессах это может влиять на чистоту камеры, термическую стабильность, срок службы деталей и стабильность процесса.

При производстве PECVD многие проблемы нанесения покрытий и осаждения начинаются не с плазменной или газохимической обработки. Они начинаются с носителя, на котором находятся пластины.