Новости отрасли

Пористая керамическая пластина SIC является одним из основных материалов в области производства полупроводников. Благодаря своей уникальной структуре и превосходным физическим свойствам пористый керамический диск SIC стал незаменимым ключевым компонентом в высокой температуре и коррозийной среде. В этой статье мы будем глубоко проанализировать его физические свойства, сценарии применения и преимущества отбора.

Кварцевая лодка-это ключевой компонент с нагрузкой, используемый в процессе производства полупроводников. В основном он используется для высокотемпературной обработки вафей, таких как диффузия, окисление и отжиг. Его превосходная тепловая стабильность, низкие характеристики загрязнения и коррозионная стойкость делают его незаменимым материалом в полупроводниковой промышленности. В этой статье будут подробно рассмотрены материалы, физические свойства, классификацию, сценарии применения кварцевой лодки и его отличия от лодки PECVD Graphite.

Основным материалом графитовой лодки PECVD представляет собой изотропный графитовый материал с высокой чистотой (чистота обычно ≥99,999%), который имеет превосходную электрическую проводимость, теплопроводность и плотность. По сравнению с обычными графитными лодками, графитовые лодки PECVD имеют много преимуществ физического и химического свойства и в основном используются в полупроводниковых и фотоэлектрических отраслях, особенно в процессах PECVD и CVD.