Новости отрасли

SIC Ceramic - это керамический материал, продуцируемый реакцией элементов кремния (Si) и углерода (C), которые имеют чрезвычайно высокую твердость, теплостойкость и химическую стабильность

В мире с высокими ставками изготовления полупроводников, точность и стабильность-это все, и именно здесь вступает электростатический патрон (ESC). Гораздо больше, чем просто инструмент для удержания, ESC использует электростатические силы для надежного зажима во время критических процессов, таких как травление, осаждение и ионная имплантация. Но как это на самом деле работает? Почему это превосходит традиционное механическое заживание? И какую роль он играет в достижении точности наноразмерных и эффективности пропускной способности? Добро пожаловать в чтение.

Принцип Dechuck электростатического патрона является ключевой частью его рабочего процесса, который включает в себя электростатическую элиминацию силы и механизмы высвобождения пластины.