Новости отрасли

Кварцевая лодка-это ключевой компонент с нагрузкой, используемый в процессе производства полупроводников. В основном он используется для высокотемпературной обработки вафей, таких как диффузия, окисление и отжиг. Его превосходная тепловая стабильность, низкие характеристики загрязнения и коррозионная стойкость делают его незаменимым материалом в полупроводниковой промышленности. В этой статье будут подробно рассмотрены материалы, физические свойства, классификацию, сценарии применения кварцевой лодки и его отличия от лодки PECVD Graphite.

Основным материалом графитовой лодки PECVD представляет собой изотропный графитовый материал с высокой чистотой (чистота обычно ≥99,999%), который имеет превосходную электрическую проводимость, теплопроводность и плотность. По сравнению с обычными графитными лодками, графитовые лодки PECVD имеют много преимуществ физического и химического свойства и в основном используются в полупроводниковых и фотоэлектрических отраслях, особенно в процессах PECVD и CVD.

Графитовые лотки MOCVD играют важную роль в эпитаксиальном процессе. Эта статья проводит подробный анализ по выбору графитовых лотков MOCVD с точки зрения свойств материала и сценариев применения.